桌上型成像儀

簡要描述：桌上型成像儀MSD-150D主要應用于曝光后的顯影工藝。該設備主要由顯影腔單元、自動擺臂單元、以及供液系統、主軸系統、控制系統及排液系統等組成，整機采用框架結構，外表為鏡面不銹鋼，無塵且不吸附顆粒，工作方式為手動上下片，自動完成顯影工藝。
桌上型成像儀顯影單元基片采用真空吸附加四周擋板固定方式，采用進口伺服電機，保證轉速、加速度、控制精度高，重復性好；供液系統采用廠務或者壓力容器直接供液方式。

基礎信息

產品型號

MSD-150D

廠商性質

生產廠家

更新時間

2025-08-20

瀏覽次數

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產品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

涂膠顯影機

顯影機勻膠機涂布機

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勻膠機在半導體及精密器件制造中的應用與操作要點

顯影機：光刻工藝的“圖形顯現師”

勻膠機：微納制造領域的“薄膜魔法師”

桌上型顯影機顯影均勻性的保障之道

詳細介紹

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桌上型成像儀MSD-150D用于對顯影均勻性和一致性要求較高的表面處理工藝，適合硅片、磷化銦、碳化硅、氮化鎵等。主要應用于4、6寸晶圓及方片.適合高校、研究所和企業客戶。

本司也提供8寸、12寸桌上型顯影機，更多功能如吹氣、背洗等請咨詢。

桌上型成像儀技術規格：

項目

規格

主體

外殼材質:鏡面不銹鋼

處理樣品尺寸：6寸晶圓以內

承盤:PTFE

馬達:

轉速：20-3000 R.P.M

搖臂：自動

操作界面：7寸觸摸屏

顯影裝置

藥液裝置:

顯影 x1（控溫可選）

DIW x1

控制系統

系統: PLC

使用接口：7寸觸屏

配方:手動和自動模式

編程 : 50 組 20 步

安全裝置

晶圓承盤真空滲液保護:

真空檢知:

數字設定:真空值下限保護

運行結束報警提示

附件	真空泵x1 顯影罐x1 去離子水罐x1 廢液桶x1 真空吸盤x1

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