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光刻工藝設備:芯片制造的“微觀雕刻大師”
在半導體芯片制造流程中,光刻工藝是決定芯片集成度與性能的核心環節,而光刻工藝設備則憑借“超精密成像+微米級加工”能力,將電路圖案精準轉移至晶圓表面,其技術水平直接關乎芯片制程的突破,被譽為半導體產業的明珠。從28nm成熟制程到3nm先進制程,每一次芯片性能的躍升,都離不開光刻工藝設備的技術革新。傳統光刻設備受限于光源波長與光學系統,難以滿足先進制程對精度的需求。現代光刻工藝設備通過“深紫外(DUV)+多重曝光”或“極紫外(EUV)”核心技術,實現精度突破:DUV光刻設備采用1...
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高效清潔,無損基底:全自動去膠機的應用價值
在半導體制造、微電子封裝、光電材料制備等領域,光刻膠作為圖形轉移的臨時載體,其使命完成后必須被無損地去除。殘留的微量膠體可能導致電路短路、器件性能惡化乃至整個批次的報廢。全自動去膠機正是為此關鍵工序而設計的工藝裝備,它通過精準、自動化的濕法或干法工藝,實現了光刻膠的高效、無損剝離,是保障產品良率與可靠性的“清潔衛士”。一、核心技術:濕法、干法與復合工藝的精準選擇全自動去膠機的技術路徑主要分為濕法和干法,以適應不同的工藝需求。1、濕法去膠:主要利用化學藥液的溶解或剝離作用。設備...
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全自動去膠機:高效清潔,開啟精密制造新境界
在現代電子、半導體等精密制造領域,每一個細微環節都關乎著最終產品的品質與性能。而全自動去膠機的出現為這些行業的生產流程帶來了革命性的變革。我們的去膠機融合了先進的機械設計與智能控制系統。它采用精準的定位裝置,能夠準確地對準需要去除膠層的工件部位,無論是復雜的電路板還是微小的芯片載體,都能實現毫厘不差的精準操作。通過優化的噴淋系統和強力物理作用相結合的方式,快速剝離各種類型的膠水殘留,包括頑固的光刻膠、導熱膠等,且不會對基材造成任何損傷。其高度自動化的特點大大節省了人力成本和時...
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針筒式旋轉涂布機實現納米級至微米級薄膜的精準涂布
針筒式旋轉涂布機是專為微量、高精度涂布需求設計的專用設備,憑借樣品用量少、涂布均勻性高、可控性強等核心特點,廣泛應用于半導體芯片、柔性電子、生物傳感器、光學薄膜等精密制造領域,實現納米級至微米級薄膜的精準涂布,是微納制造的關鍵工藝裝備。?微量精準涂布是其核心競爭力。設備采用“針筒供料-高速旋轉”一體化設計,通過高精度注射泵控制針筒內的微量樣品,以滴加或微量擠出方式將樣品輸送至基片中心,再通過基片的高速旋轉產生的離心力,使樣品均勻鋪展形成薄膜。涂布厚度可通過轉速、樣品粘度、供料...
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勻膠機滿足多樣化的應用需求
在半導體制造、光學薄膜涂覆等高精度工藝中,材料的均勻分布是決定產品性能的關鍵因素之一。勻膠機作為實現這一目標的核心設備,用旋轉的韻律演繹著材料均勻化的神奇魔法。勻膠機的工作原理基于離心力與液體表面張力的平衡。當載有光刻膠或其他功能性漿料的基片被放置在高速旋轉的平臺上時,多余的液體會在離心作用下向邊緣甩出,同時形成一層厚度均勻的薄膜覆蓋在基片表面。這種動態平衡的過程確保了每一寸面積上的涂層厚度都保持一致,誤差控制在納米級別以內。對于集成電路的生產而言,這意味著更精確的圖案轉移和...
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桌上型成像儀使用方法及注意事項詳解
桌上型成像儀作為一種緊湊便捷的光學成像設備,在生物醫學研究、材料科學、電子制造等眾多領域有著廣泛的應用。它能夠將微小的樣品清晰地成像并展現在屏幕上,方便用戶進行觀察和分析。掌握其正確的使用方法對于獲得準確可靠的結果至關重要。一、使用方法1、開機準備:將成像儀放置在平穩的工作臺上,連接好電源線并確保電源插座接地良好。打開儀器的電源開關,等待儀器完成自檢和初始化過程。部分成像儀可能還需要連接電腦并安裝相應的驅動程序和成像軟件,按照軟件安裝向導完成安裝后,啟動成像軟件與儀器進行通信...
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無掩膜曝光機的工作原理及應用解析
在現代光刻技術中,無掩膜曝光機以其優勢逐漸嶄露頭角,為高精度、高靈活性的圖案轉移提供了新的解決方案。以下是對曝光機原理的詳細解析。一、核心原理概述曝光機的核心原理在于直接利用數字化數據控制光源,實現對基底上光刻膠的精確曝光,而無需傳統的物理掩膜版。這一過程主要依賴于動態光學投影或直寫技術,通過調整光源的強度、形狀和位置,直接在基底上形成所需的圖案。這種技術不僅簡化了曝光流程,還大大提高了圖案設計的靈活性和制作效率。二、關鍵組成部分與功能1、光源系統:無掩膜曝光機通常采用高強度...
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鈣鈦礦前驅液特性對鈣鈦礦旋涂儀效果的影響探究
鈣鈦礦材料憑借其優異的光電性能在光伏、發光等領域展現出巨大潛力,而鈣鈦礦旋涂儀在鈣鈦礦薄膜制備過程中起著關鍵作用。其中,鈣鈦礦前驅液的粘度、濃度和溶劑類型對旋涂效果有著顯著影響。首先,前驅液的粘度直接影響旋涂過程。粘度較高的前驅液在旋涂時,由于其內部分子間作用力較強,流動性相對較差。在旋涂儀高速旋轉產生的離心力作用下,高粘度前驅液難以迅速鋪展成均勻的薄膜,容易導致薄膜厚度不均勻,甚至出現局部堆積的現象。相反,粘度較低的前驅液流動性好,能夠快速在基底表面鋪展開,更易形成厚度均勻...
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無掩膜曝光機在哪些領域應用廣泛?
在現代先進制造與科研領域,無掩膜曝光機憑借其優勢,在眾多領域得到了廣泛應用。在半導體領域,曝光機發揮著極為關鍵的作用。半導體芯片的制造過程對精度和復雜度要求高,傳統的光刻技術雖然成熟,但在某些特定場景下存在局限。曝光機能夠直接依據設計圖案對晶圓進行曝光,無需制作復雜的掩膜版,大大縮短了芯片研發周期。尤其是在新型半導體材料、器件結構的探索階段,科研人員可以快速將設計思路轉化為實際芯片樣品,加速技術迭代與創新,為半導體產業持續發展注入強大動力。微機電系統(MEMS)領域同樣離不開...
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