桌上型顯影機(jī)

簡(jiǎn)要描述：桌上型顯影機(jī)MSD-150D主要應(yīng)用于曝光后的顯影工藝。該設(shè)備主要由顯影腔單元、自動(dòng)擺臂單元、以及供液系統(tǒng)、主軸系統(tǒng)、控制系統(tǒng)及排液系統(tǒng)等組成，整機(jī)采用框架結(jié)構(gòu)，外表為鏡面不銹鋼，無(wú)塵且不吸附顆粒，工作方式為手動(dòng)上下片，自動(dòng)完成顯影工藝。

基礎(chǔ)信息

產(chǎn)品型號(hào)

MSD-150D

廠商性質(zhì)

生產(chǎn)廠家

更新時(shí)間

2025-10-14

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

涂膠顯影機(jī)

顯影機(jī) 勻膠機(jī) 涂布機(jī)

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詳細(xì)介紹

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桌上型顯影機(jī)MSD-150D：用于對(duì)顯影均勻性和一致性要求較高的表面處理工藝，適合硅片、磷化銦、碳化硅、氮化鎵等。主要應(yīng)用于4、6寸晶圓及方片.適合高校、研究所和企業(yè)客戶。

本司也提供8寸、12寸桌上型顯影機(jī)，更多功能如吹氣、背洗等請(qǐng)咨詢。

桌上型顯影機(jī)MSD-150D：顯影單元基片采用真空吸附加四周擋板固定方式，采用進(jìn)口伺服電機(jī)，保證轉(zhuǎn)速、加速度、控制精度高，重復(fù)性好；供液系統(tǒng)采用廠務(wù)或者壓力容器直接供液方式。

桌上型顯影機(jī)MSD-150D控制系統(tǒng)由觸摸屏和PLC控制模式，實(shí)時(shí)顯示設(shè)備運(yùn)行過(guò)程中各工藝功能執(zhí)行情況。可實(shí)現(xiàn)自由的配方編輯，自由修改、編輯、儲(chǔ)存、及調(diào)試用工藝配方等。

桌上型顯影機(jī)技術(shù)規(guī)格：

項(xiàng)目

規(guī)格

主體

外殼材質(zhì):鏡面不銹鋼

處理樣品尺寸：6寸晶圓以內(nèi)

承盤:PTFE

馬達(dá):

轉(zhuǎn)速：20-3000 R.P.M

搖臂：自動(dòng)

操作界面：7寸觸摸屏

顯影裝置

藥液裝置:

顯影 x1（控溫可選）

DIW x1

控制系統(tǒng)

系統(tǒng): PLC

使用接口：7寸觸屏

配方:手動(dòng)和自動(dòng)模式

編程 : 50 組 20 步

安全裝置

晶圓承盤真空滲液保護(hù):

真空檢知:

數(shù)字設(shè)定:真空值下限保護(hù)

運(yùn)行結(jié)束報(bào)警提示

附件	真空泵x1 顯影罐x1 去離子水罐x1 廢液桶x1 真空吸盤x1

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