簡要描述：12寸烤膠機(jī)/加熱板HPR-12廣泛應(yīng)用于物理、材料冶金、高分子聚合物、生命科學(xué)等各個領(lǐng)域。在科研方面隨著近幾年半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅猛，針對旋轉(zhuǎn)涂膠后、曝光后的烘烤、顯影后的堅膜等工藝流程提供堅實的技術(shù)保障。

基礎(chǔ)信息

產(chǎn)品型號

HPR-12

廠商性質(zhì)

生產(chǎn)廠家

更新時間

2025-10-13

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

烘烤加熱固化

烤膠機(jī)

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詳細(xì)介紹

品牌	其他品牌	產(chǎn)地類別	國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域	化工,電子/電池

標(biāo)準(zhǔn)型烤膠機(jī)廣泛應(yīng)用于物理、材料冶金、高分子聚合物、生命科學(xué)等各個領(lǐng)域。在科研方面隨著近幾年太陽能電池效率屢創(chuàng)新高、半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅猛，在此背景根據(jù)不同用途本公司開發(fā)HPR系列加熱產(chǎn)品。此款烤膠機(jī)是針對半導(dǎo)體工藝生產(chǎn)中晶圓烘烤而設(shè)計，加熱模式可選擇手動控溫或軟件控溫。具有升降樣品控制系統(tǒng)，適用多種尺寸硅片，使得樣品在高溫下快速降溫。采用大功率加熱，加熱速度塊，發(fā)熱效率高。

12寸烤膠機(jī)/加熱板產(chǎn)品參數(shù)：

烤膠機(jī)	供電電壓	AC220V,50Hz	控溫方式	PID
	處理尺寸	Up to Ф300mm wafer	功率	3200W
	溫度	室溫-300℃	升溫速率	1-20℃/min，可控
	溫度均勻性	≤±2%	面板尺寸	330*330mm
	控溫精度	±0.2℃	重量	20KG
	面板材質(zhì)	鋁合金表面鍍陶瓷	整機(jī)尺寸	380mm590mm198mm
	時間	9999S	編程	40段