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當前位置:首頁  /  產品中心  /  涂膠顯影機  /  勻膠機  /  CG-H20HMDS增粘涂膠機

HMDS增粘涂膠機

簡要描述:HMDS增粘涂膠機應用于在勻膠前的硅片等基片表面均勻涂布一層HMDS(六甲基二硅氮烷)。作用:降低HMDS處理后的硅片接觸角,進而降低勻膠時光刻膠在硅片表面鋪展開的難度,提高光刻膠與硅片的黏附性,降低光刻膠的用量。

基礎信息

產品型號

CG-H20

廠商性質

生產廠家

更新時間

2025-10-13

瀏覽次數

1637
詳細介紹
品牌其他品牌產地類別國產
應用領域醫療衛生,化工,生物產業,能源,電子/電池

HMDS增粘涂膠機主要技術指標:

1、 工作室容積: 250×250×250mm (W×D×H);

2、 腔體材質:SUS316;

3、 外框架材質:Q235A,表面噴塑處理;

4、 工件擺放:2層;

5、 加熱方式:腔體下部及兩側加溫,加熱器外置;

6、 工作室溫度范圍:常溫~ +200℃ ;

7、 溫度分辨率:0.1℃;

8、 溫度波動度:±0.5℃;

9、 降溫方式:隨爐自然降溫

10、 真空度:133Pa,到達真空時間10min

11、 藥液容器:1組,容器材質:高硼硅玻璃;

12、    源: 220V\50±0.5Hz;

13、    率: 3kw

HMDS增粘涂膠機箱體結構:

1、 結構形式:整體式方形不銹鋼內膽結構,由腔體部分、真空系統、電氣控制系統組成。電氣控制系統位于箱體頂部,便于操作和安全防護。

試驗箱工作室承壓方式為內承壓方式,采用優質不銹鋼板作為承壓箱體(即工作室),保證降溫速率和溫控的靈敏度,并保證工作室在低氣壓狀態下有較好的溫度均勻性。在工作室的外面再安裝外殼,填充陶瓷纖維保溫材料,增加保溫性能,并使得整個試驗箱的性能得以保證;腔體內共2層層板

2、箱體內壁材料:不銹鋼板(SUS316);

3、爐門密封:爐門的密封采用定制型裙邊硅橡膠密封條;

4、工作室內膽外壁焊有加強筋;

5、在箱體底部安裝有腳。

真空系統

1、 真空泵:干泵

2、 真空輔助件:主要真空輔助件均選用進口優質器件,如:壓力傳感器、真空放氣電磁閥

3、工作壓力:數字顯示。

HMDS補液系統

1、SUS316封蓋

2、高硼硅承載容器

3、缺液報警:浮球液位計

4、1只藥液罐,1組管道

控制系統:

1、 溫度測量: 優質鎧裝K分度熱電偶;

2、 壓力測量: 壓力傳感器,其結構易于更換,便于安裝;

3、 溫度及壓力控制(界面圖僅供參考):

采用7.0寸彩色液晶觸摸式恒溫恒壓可編程控制器,配置RS232或RS485計算機通訊接口, 可連接計算機儲存記錄歷史數據,中文界面,可直接顯示設定溫度、壓力,箱內實際溫度、壓力偏差、系統參數、運行曲線、加熱器工作狀態及初始化參數密碼鎖定等,并具有試驗程序自動運行及PID參數自整定功能。運行程序的編制采用人機對話方式,可實現設備全自動運行功能;

儀表特點:

A. 具有溫濕度PID調節及控制參數自動整定功能;

B. 采用液晶顯示,可以顯示多種畫面(運行畫面、選擇畫面、運行參數設定畫面、設置參數設定畫面和程序參數設定畫面);

C. 溫度采用K分度熱電偶輸入;壓力數據采集采用壓力傳感器;

D. 具有豐富的任意運算功能,實現高質量的控制;

4、控制器件采用西門子、施耐德等優質器件,保證控制的可靠性。

  5、設有超溫保護聲光報警裝置,和自動斷電保護裝置,使設備能達到安全運行的目的。

6、加熱控制元件:

安全保護措施

1、安全可靠的接地保護裝置;

2、獨立的工作室超溫保護(溫度上限保護);

3、加熱器短路及過載保護;

設備使用條件

1、 電   源: AC220V±10% V、50 Hz±2%, 3.2kva;

2、 使用環境溫度: 5~35℃

3、 環境濕度: ≤85%R.H;

4、 空氣質量:無高濃度粉塵及腐蝕性氣體。

、主要材料表                

材料名稱

規格

生產國/廠家

氣源處理


日本SMC

截止閥/電磁閥/過濾器/

若干

國產優質產品

水壓保護器


國產優質產品

過濾器


國產優質產品

干泵


國產優質產品

壓力傳感器


國產優質產品



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